情報によると (支払いあり)、 政府支援の上海企業は中国初の液浸DUVリソグラフィー装置の量産を開始しており、今年はSMIC、HuaHong、CXMT向けに約5台の生産が予定されている。 2027 年にはさらに 20 台が追加される予定です。Tom’s Hardware は次のように報告しています。 The Informationはメーカー名を明らかにしていないが、情報筋によると、この事業は中国企業数社からDUV開発チームを誘致しており、そのうちの1社は国営新興企業の上海玉良盛科技だという。 SMICは2025年9月からYuliangsheng浸漬ツールのテストを行っている。新しいシステムのほとんどのコンポーネントは国産だが、一部の重要な部品は依然として日本から調達されており、地元サプライヤーからの遅れにより今年の生産が妨げられている。

[…] 今年のASMLの純売上高に占める中国の割合は約20％で、2025年の33％から減少しているが、これは主にコアロジック需要によるものだ…AI Futures Projectの6月の独立した分析では、中国の商業規模のイマージョンDUVは2030年代半ばに見込まれ、ASMLはイマージョン市場の98.7％を握るとしている。生産ライン用の新しいマシンの認定には数か月かかる場合があり、ASML ツールはパフォーマンスとビルド品質に続きます。ロイターが12月に実用的なプロトタイプとして初めて報じた中国国内のEUVへの取り組みはまだ数年かかる。